钛/硅-蓝宝石表压传感器

发布时间:2011-11-02

北京俄华通仪表技术有限公司

蓝宝石由单晶绝缘体元素组成,不会发生滞后、疲劳和蠕变现象;蓝宝石有非常好的弹性和绝缘特性(1000℃以内),对温度变化不敏感,即使在高温条件下,也有很好的工作特性;蓝宝石的抗辐射特性强;另外,硅-蓝宝石半导体敏感元件,无p-n漂移,因此,可应用于各种复杂环境场合。

传感器由双膜片构成:钛合金感压膜片和钛合金测量膜片。蓝宝石上异质外延硅应变敏感电路膜片,被熔焊在钛合金测量膜片上。被测压力传送到测量膜片上。在压力的作用下,钛合金测量膜片产生微应形变,该形变使电桥输出会发生变化,变化的幅值与被测压力成正比。电桥电路将电桥的失衡信号,转换为电压信号输出。

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