巴斯夫在浙江嘉兴的电子级硫酸装置投入运营

文章来源:巴斯夫 点击数:36 发布时间:2018-06-07
2018年5月30日,巴斯夫今日宣布其位于浙江嘉兴的新建电子级硫酸(H2SO4)装置正式投入运营,扩建项目预计将于今年年底投产。
巴斯夫在浙江嘉兴的电子级硫酸装置投入运营

2018年5月30日,巴斯夫今日宣布其位于浙江嘉兴的新建电子级硫酸(H2SO4)装置正式投入运营,将主要服务于国内日益增长的半导体制造行业。在客户强劲需求的推动下,该装置尚未竣工即同时启动扩建项目,扩容后产能将翻番。扩建项目预计将于今年年底投产。

该套新装置位于上海西南的浙江省嘉兴市海滨城镇乍浦,配备了最先进的技术,将生产最高品质的硫酸。因为在制造小于10纳米单位数节点晶片的过程中需要经过数百道清洗工序,新装置所生产的硫酸将主要用于此过程中半导体晶片的清洁。这一装置拥有先进的质量分析设备和配有专用无尘室的分析实验室,旨在满足中国电子行业客户的未来需求。

工厂图

据悉,嘉兴工厂产能一期是12000吨,二期扩建再增加12000吨,嘉兴完成两期扩建以后总产能是24000吨。与2005年投资的青浦工厂相比,青浦工厂生产高纯度化学品,包括一些为客户量身定做的混配产品。嘉兴工厂所配置的电子级硫酸设备是具备有现在业内最领先的,尤其拥有超纯制程能力,而且配备先进的分析实验室,还有质量管控中心。在未来,这两个工厂会同时运行,而且这两个工厂之间将互补。

巴斯夫电子材料业务部亚太区副总裁言甯璿博士表示:“嘉兴的新电子级硫酸装置是巴斯夫在中国电子材料市场持续增长与拓展的又一重要举措。中国已成为全球最大电子材料市场之一,而且还在不断成长,我们很高兴能够参与这一增长势头。我们将更贴近客户,为他们提供更迅捷、更高效的化学解决方案、更可靠的供应和更稳定的品质。”2017年全球晶片出货量,首次突破4000亿美元。巴斯夫将携手客户共同创造化学新作用,创新电子产品未来。预计2019年中国内地芯片的生产技术节点会前进到14纳米,到2020年会突破7-10纳米。嘉兴工厂生产电子级硫酸,专注服务于半导体芯片制造企业,它的质量水平能够供应下一代芯片制程,达7-10纳米。嘉兴工厂整个工艺过程中,最重要的是纯化工艺,纯化工艺里面运用以聚四氟乙烯作为内衬的制程设备,是全自动化生产设备,包括在线生产控制系统。工厂有一个先进的装车系统,还有一个过滤技术,最大程度实现去除微量金属粒子。嘉兴工厂配备先进分析设备还有无尘环境质量控制室,金属检测水平达到千万亿分之一水平,这是国内最领先设备。

巴斯夫嘉兴装置所生产的硫酸在性能水平上已经超越了当今速度最快、性能最优的半导体标准要求,其质量与稳定性在业内首屈一指。嘉兴装置依托巴斯夫全球研发网络与专业生产技术,成功搭建出生产工艺的复杂架构,并实施质量管理专有体系。作为全球领先的电子材料供应商,巴斯夫为电子行业提供多种解决方案,包括经过高纯度先进方法加工的特种化学品组合以及面向电子行业的应用和定制化解决方案。

嘉兴工厂

巴斯夫电子材料中国区总经理窦峥先生表示,巴斯夫电子材料在国内的目标是为整个半导体行业增长提供生态体系。满足这个行业三个大需求,要满足客户从实验室进行测试的新产品,能够实现大规模的生产。第二,国内晶圆厂需要提供可靠供应的生产企业。第三,供货能力体现于产品质量稳定。巴斯夫所做的事情就是为了满足客户未来增长带来的需求。

巴斯夫电子材料事业部中国区项目及工厂营运总监李超先生补充道,半导体制程非常复杂,有几百步制程在里面,这个过程当中用到硅片清洗,而且这个过程在不断反复,会用到很多化学品。巴斯夫提供这方面的解决方案,也提供电镀铜/钴解决方案,化学机器研磨解决方案,显示影清洗解决方案。光伏里面提供用来做光电转换作用的银浆,提供发光二极管荧光粉,下游电子元器件行业里面,特别是金属运用上面拥有先进金属粉末喂料,还有高性能高分子聚合物,巴斯夫电子材料覆盖行业比较广泛,而且针对这个行业制程所需要的特殊材料,都能够提供其所拥有的解决方案。巴斯夫优势在于可以从整个全球的资源体系里面,把对先进制程方面的经验带到中国来,来支持中国客户成长。

最后,言博士总结,希望带给客户真正的可持续的解决方案,生产过程当中减少化学品使用量。希望能够帮助客户在制程工艺当中能够回收,再重新利用一些化学品,这就是巴斯夫利用全球布局生产研发网络,带来差异化的优势。

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