mini CORI-FLOW 紧凑型液体/气体科里奥利质量流量计/控制器

文章来源:Bronkhorst布琅轲锶特 发布时间:2018-11-29
科里奥利流量测量和控制概述。

科里奥利流量测量和控制概述

科里奥利原理

科里奥利原理

1835年,法国科学家Gaspard-Gustave Coriolis阐述了在旋转的参照系下观察到移动物体偏离直线的影响。20世纪70年代,科里奥利效应开始被应用在质量流量计领域:流体流经振荡管时会导致频率、相移、振幅的改变,流经振荡管的质量流量与此变化成正比,同时流体密度可以作为次级输出。

科里奥利原理

科里奥利与其他流量测量原理的比较

其它流量计都是基于流速、体积或压差测量流量,因此实际的质量流量必须进行密度和/或温压修正。通常,直接测量质量流量显然更精准。热式质量流量计基于传感器的温差测量质量流量。然而根据热交换原理,流量计的校准取决于流体的热容量。科里奥利流量计却完全不同,它直接测量流体质量流量,无论液体或气体。此外科里奥利力流量计的最大优势是精度高、响应速度快。

当前科里奥利质量流量计市场分析

通常,科里奥利质量流量计主要应用于中高液体流量测量。在工业过程控制中应用居多,如化工厂、油气市场,以及食品饮料行业。但是低流量测量要更为复杂,且成本高昂。

mini CORI-FLOW 解决方案

科里奥利工作原理

研发 mini CORI-FLOW 系列的目标是实现结构紧凑、经济高效的迷你型质量流量计/控制器,实现(超)低流量精准的测量和控制。微型科里奥利传感器的独特设计,即使压力、温度、密度、电导率和粘度等工况变化,始终能够保持其卓越的测量性能。

紧凑型科里奥利质量流量控制器

与其它科里奥利流量计比较,mini CORI-FLOW 集成PID控制和耦合控制阀或泵,提供非常紧凑并节约成本和空间的科里奥利MFC。

气液两用

不同于某些科里奥利质量流量计,mini CORI-FLOW 也可应用于气体流量。

(超)低流量测量范围

mini CORI-FLOW 独特的传感器设计使其可精准测量流量从0.1…5g/h (1.3...66.6 mln/min N2) 到 0.3…30 kg/h (4…400 ln/min N2)。

RS232和现场总线数字通讯技术

mini CORI-FLOW 具有先进的数字技术,提供现场总线接口可选和累计、报警等附加功能。该系列仪表可根据客户要求采用RS232通讯或现场总线接口,配合各种免费软件,直接对仪表进行设置。

热式MFC的替代方案

mini CORI-FLOW 旨在实现传统MFC的简便替换。模拟或总线通讯,mini CORI-FLOW 都具有相同的空间占比和电气性能。相比热式MFC,科里奥利仪表更加精准,响应更加快速,且不受流体属性的影响。

mini CORI-FLOW™ 质量流量计

概述

mini CORI-FLOW 系列是Bronkhorst®基于科里奥利原理设计的精准紧凑型质量流量计和控制器。旨在满足低流量市场需求,全系列共三种型号,均具备“多量程”功能,流量范围从5 g/h到30 kg/h(满量程值)。用户可按需调整校准范围并保持出厂时的精度规格。因此,可减少不同范围流量计的库存,降低采购成本。该系列仪表配备坚固的IP65防护外壳,可用于ATEX-Zone 2危险区域。

卓越的科里奥利传感器

mini CORI-FLOW 系列采用形状独特的单管回路传感器,结合其它部件形成振荡系统。当流体流经振荡管时,科里奥利传感器检测相位移并将数据传输到集成PCB板,质量流量与此输出信号成严格的正比关系。科里奥利的质量测量快速、精准并且可双向测量。mini CORI-FLOW还可次级输出流体密度和温度。

应用领域

mini CORI-FLOW 仪表可应用于气/液体的流量测量或控制系统,包括但不仅限于半导体加工、燃料电池技术、食品、(石化)化工和制药行业,以及分析装置和微反应器的定量给料系统等。

流量范围

流量范围
*最大量程取决于质量流量计两端的压力差,特别是用于气体测量时。请参阅本手册第6,7页的图表。

特性

  • 直接质量流量测量,不受流体属性影响
  • 精度高,重复性高
  • 多量程:用数字接口轻松重置现场量程(有效量程比:2000:1,如M13)
  • IP65设计,ATEX Cat.3, Zone 2 认证可选
  • 金属密封结构
  • 双向测量可选
  • 额外的密度和温度输出
  • 标准0…5(10) Vdc 和 0(4)…20 mA模拟及数字通讯
  • 现场总线通讯可选(DeviceNet™、PROFIBUS DP、Modbus-RTU 或 FLOW-BUS)
  • 报警和(批次)计数功能

流量范围
M13质量流量计

液体应用

液体应用

mini CORI-FLOW 适用于大多数液体并采用全金属密封结构,控制器配备Kalrez®材质的高性能阀座。

mini CORI-FLOW Mass Flow Meter with local readout module,

mounted on an optional heavy mass body

高精度

科里奥利流量计精度卓越。测量液体时,其质量流量精度优于±0.2%读数。

下图的曲线表征了M13测量液体时的精度。

高精度

高精度

mini CORI-FLOW™ 质量流量计

气体应用

相比热式质量流量仪表,科里奥利原理具有以下优势:

  • 无转换系数(如基于重量单位)
  • 可测量未知流体或混合介质
  • 可测量(超)临界气体
  • 超高精度、响应快速

测量气体时,气体质量流量精度优于±0.5%读数。下图的曲线表征了M13测量气体时的精度。

气体应用

气体测量应用时,必须考量流量计和相关管道带来的压损。下页的表格图解了 mini CORI-FLOW 在不同入口压力下,若干常见气体的最大流量范围。

质量流量计尺寸

气体应用

气体应用

气体应用

不同入口压力下气体的最大流量范围

不同入口压力下气体的最大流量范围

注:

  • (1) 所有气体流量的测量误差为±0.5%读数±零点稳定性
  • (2) “液化”:如果流体在特定条件下液化,不建议使用;仪表测量时应避免气液转换!
  • (3) 气体的最大可测流量范围会随出口端压力的上升而下降。
  • (4) 同等工况下,气体流量控制器的最大流量范围约为流量计的0.75。
  • 例如:P1=10 bara,P2=1 bara ,20°C,M13流量计的最大范围约为475 g/h 或 6.3 ln/min 等值空气。
  • 同等工况下,M13控制器的最大范围约为0.75 * 475 = 356 g/h 或 4.7 ln/min。
  • (5) 若需控制上表中相同流量范围的气体,需提高33%的入口压力(P1)(P1除以0.75)。例如:为控制475 g/h 或 6.3 ln/min 等值空气,需将入口压力从10 bara 提高到13.3 bara (P2 = 1 bara, T=20°C)。

mini CORI-FLOW™ 质量流量控制器

概述

mini CORI-FLOW 的电路板集成高度自适应的PID控制功能来快速平稳控制任何电驱控制阀。基于应用,可集成直驱阀,也可针对特殊用途安装分体阀门,如压力调节阀。液体应用中的一体式控制阀,其顶部有一排气接口,可在系统启动时轻松把空气和其它气体排空。针对液体定量配料,Bronkhorst®提供另一种替代方案来控制流量。即采用科里奥利流量计加齿轮泵,而非控制阀,因此无需对液体源加压。

热式质量流量控制器的替代方案

相比传统热式MFC,科里奥利MFC精度更高,且不受流体属性的影响。无可动部件或阻流件。此外,科里奥利传感器本质上响应速度更快。 

mini CORI-FLOW 与典型的热式MFC空间占比相同。电气规格也相同,标配模拟(0-5 Vdc / 4-20 mA)和数字(RS232)输出,可选通讯接口PROFIBUS DP、 DeviceNet 、 Modbus-RTU 或FLOW-BUS。科氏MFC外壳坚固且带IP65防护,有ATEX-Zone 2认证可选。PN100压力等级的控制阀有常闭(nc)或常开(no)可选。

一体式控制阀可选:

  • V10I: 气体流量控制阀 (nc)
  • V11I: 气体流量控制阀 (no)
  • V14I: 液体流量控制阀 (nc)

流量范围

流量范围
* 最大流量范围取决于前后两端的压差,特别是测量气体时。

应用领域

mini CORI-FLOW 流量计/控制器可用于工业环境(包括可选的ATEX Cat.3 Zone 2)、实验室和OEM:

  • 试验工厂
  • 燃料电池技术
  • 半导体加工
  • 食品&医药行业
  • 分析装置
  • 微反应器的液体定量给料系统
  • 等离子体表面技术
  • (石油)化工行业

特性

除上述特性,mini CORI-FLOW 控制器还具有以下特点:

  • 快速稳定的控制
  • 集成PID控制的电子部件
  • 非常紧凑的设计:与热式MFC空间占比相同
  • 外部金属密封;Kalrez®材质柱塞阀座

流量范围
M14V14I 质量流量控制器

mini CORI-FLOW™ 质量流量控制器

质量流量控制器压损

经验表明,液体流经控制阀的压差(ΔP)至少是系统总ΔP的50%,气体的压差最好更高(约75%)。

紧密耦合控制阀

对于控制应用,一体式控制阀MFC通常是首选,因为该解决方案紧凑和经济。然而,分体式控制阀有时更实用、更具技术优势。可能是标准的直接作用阀、电磁阀或适合高压差应用的先导阀。

控制性能

mini CORI-FLOW MFC具有高度稳定的控制输出且响应快速;请参阅随设定值变化的典型响应曲线。

控制性能

由于传感器的极速响应(50...200 msec),从而实现超速控制,如定量给料应用。更多资讯请洽我司服务团队。

质量流量控制器尺寸

质量流量控制器尺寸

质量流量控制器尺寸

质量流量控制器尺寸
带压力调节阀的质量流量计

mini CORI-FLOW™ 流量计搭配控制泵的液体定量给料系统

某些流量控制的替代方案

某些应用中无法(不推荐)使用控制阀,如液体容器无法受压时。Bronkhorst®提供与科里奥利流量计紧密耦合的无脉冲齿轮泵、HPLC泵或隔膜泵的替代方案。

液体定量给料系统

mini CORI-FLOW 定量给料系统由科里奥利流量计、齿轮泵和连接部件组成。此外,Bronkhorst®还提供电气和机械接口,测试并优化PID控制器。

液体定量给料系统

全系列的泵适合极低到很高的流量范围、高压和腐蚀性流体。除模拟通讯外,也可采用RS232或现场总线接口进行数字通讯。通过数字接口可轻松重置流量范围,其控制量程比可达1:2000!

特性

  • 设计简便紧凑,易于使用
  • 无需加压液体源
  • 泵控由流量计可调PID控制器的电压输出信号实现
  • 完整的给料系统,尺寸小巧
  • 直接质量流量测量/控制(非体积流量)
  • 精度高、稳定性高(几乎无脉冲)
  • 响应报警保护以防空转对泵的损坏。
  • 流量设定可通过:模拟信号{0…5(10) V / 0(4)...20 mA} 或数字通讯(RS232、PROFIBUS DP、DeviceNet™、Modbus-RTU或 FLOW-BUS)

特性 设计简便紧凑,易于使用 无需加压液体源 泵控由流量计可调PID控制器的电压输出信号实现 完整的给料系统,尺寸小巧 直接质量流量测量/控制(非体积流量) 精度高、稳定性高(几乎无脉冲) 响应报警保护以防空转对泵的损坏。 流量设定可通过:模拟信号{0…5(10) V / 0(4)...20 mA} 或数字通讯(RS232、PROFIBUS DP、DeviceNet™、Modbus-RTU或 FLOW-BUS) 液体定量给料系统由mini CORI-FLOW 质量流量计和紧密耦合齿轮泵组成。
液体定量给料系统由mini CORI-FLOW 质量流量计和紧密耦合齿轮泵组成。

mini CORI-FLOW™ 应用

气/液体的前体输送

沉积过程中的流体前体,无论气相或液相,都必须控制精准。 mini CORI-FLOW 系列高精度MFC专为严苛应用量身打造。得益于“多量程”可调功能,OEM客户能够大大减少备品备件,实现降本增效。

mini CORI-FLOW 添加剂给料系统

很多应用需要跟随主站通过比例测量和控制实现紧凑、精准的添加剂定量配料。 mini CORI-FLOW 可轻松搭配自主工作系统实现此功能,无需额外的电脑硬件和软件。下面的系统配置,通过FLOW-BUS事先设定好主从控制比例,添加剂流量即可随主流量变化而自动调整。集成U/f转换器的泵将输出电压转换为旋转速度,以达到所需流量。

比例控制:从站随主站的比例可调
比例控制:从站随主站的比例可调

mini CORI-FLOW 用作批量计数器

mini CORI-FLOW 测量流量,集成PID控制器可控制比例阀。设定值可通过其自带的模拟信号或数字通讯(RS232 或 fieldbus)来设置。所需的批量可编辑为集成计数器的极限值。每个批次后,可通过仪表按钮、外部开关或数字接口复位流量计。达到计数器极限值时,mini CORI-FLOW 将关闭阀门直到下次复位。数字集成功能使用户能够自定义高精度、快速、重复性好又紧凑的批量/配料系统。针对超快的批量配料,可搭配截止阀结合限流针阀来实现。

批量控制,带就地读取/控制模块可选
批量控制,带就地读取/控制模块可选

mini CORI-FLOW™ 应用

超临界气体测量与控制

二氧化碳(CO2)难以测量是因其液相、气相和临界状态无法确认。例如,当温度>31.1°C,压力约73.8 bara的工况下CO2就处于临界状态。随着压力或温度的变化,密度(ρ)和热容比(Cp)等物理特性急剧变化,因此基于热式原理的精准质量流量测量变得非常困难。

mini CORI-FLOW 解决方案,基于真正的质量测量,与被测介质的物理属性无关。

测量真正的质量流量,不管流体是气相、液相或介于气液之间的临界状态。相关经验证明,该测量原理非常准确可靠。针对控制应用,Bronkhorst®提供金属密封流量计搭配压力调节阀的解决方案。更多定制方案请联系我们。

mini CORI-FLOWTM 搭配压力调节阀
mini CORI-FLOWTM 搭配压力调节阀

CORI-FILL: 紧凑型流体配料组件

mini CORI-FLOW 或 CORI-FLOW 系列MFM搭配控制阀或(齿轮)泵即可实现紧凑型流体定量配料系统。只需组装好流体组件并上电,MFM内置的PID控制器将优化阀或(齿轮)泵的控制,配料剂量即刻开始。在操控模块(或遥控PC)输入目标流量或批量即可实现质量定量给料,不受环境温度、背压影响。集成CORI-FILL技术,科里奥利MFM的累加器能够高精准地批次剂量,确保执行器基于批量达成即刻响应。配备以下组件即可实现上述目标:

  • 流量计
  • 阀/泵
  • 批量计数模块/PLC
  • 相关软件

只需CORI-FILL ,即可提供所有上述功能,无需对硬件进行复杂的编程。

mini CORI-FLOWTM 搭配压力调节阀

应用

CORI-FILL已成功应用于添加剂如芳香剂、调味剂、色素及消毒液(H2O2)的配料剂量。

如需宣传册,可登陆 www.cori-fill.com 下载。

技术参数

流量范围

流量范围

机械部件

机械部件

性能参数

性能参数

电气性能

性能参数

校准

性能参数

上述参数基于20°C工况。技术参数如有变更,恕不另行通知。

性能参数
配电磁阀的质量流量计

选型表

选型表

二维码

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